
順義區融媒(méi)體中心(xīn)消息 隨著我國半導體產業快速發展,質譜儀作為芯片製造過程中的關鍵檢測設備,其國產替代意義重大。北京.17c嫩嫩草色视频蜜 %A儀器股份有限公司(以下簡稱“.17c嫩嫩草色视频蜜 %A”)質譜研發(fā)部產品經理王娟帶領團隊迎難(nán)而上(shàng),破解高(gāo)端質譜儀研發難題,為國產質譜儀的發展貢獻了智慧與力(lì)量。
LabMS 5000 電感耦合等離(lí)子(zǐ)體串聯質譜儀(yí)(ICP-MS/MS)
.17c嫩嫩草色视频蜜 %A是一家專業從事實驗分析儀器研發、生產和銷售的科技型公司,王娟現擔任公司質譜(pǔ)研發部高級產品經理。她曾在多家跨(kuà)國儀(yí)器公司從事質譜產品的技術支持、產品開發(fā)、行業方案製(zhì)定(dìng)等工作,具有豐富的質(zhì)譜產品開發和應用工作(zuò)經驗。加入萊(lái)伯泰科4年多以來(lái),王娟作為主要項目參與(yǔ)者,與團隊成(chéng)員一起攻關研發了單四極杆質譜(pǔ)、串聯三重四極杆質譜等。
在2023年(nián)度中國檢(jiǎn)驗檢測學會科學技術(shù)獎獲獎評選中,萊(lái)伯泰科憑借其《矽片表麵金(jīn)屬離子(zǐ)國產檢測儀(yí)器(qì)首創項目》榮獲科學技術進步獎二等獎,這一項目的帶頭人正是王娟。
過去,我國半導(dǎo)體行業中高端質譜儀完全依賴進口(kǒu)。王娟團隊從2019年開始專攻電(diàn)感耦合等離子體質譜的研發,曆經艱辛終於(yú)成功推(tuī)出LabMS 3000單四極杆電感耦合等離(lí)子體質譜儀。隨後,團隊又開展了電感耦合等離(lí)子(zǐ)體串(chuàn)聯四極杆質譜儀、電感耦合等離子體四極杆-飛行時(shí)間質(zhì)譜儀的研(yán)發,並於2023年推出深度進軍半導體(tǐ)行業的LabMS 5000電感(gǎn)耦合等離子體串聯四極杆質譜儀,打破了國外公司在該市場一家獨大的(de)局麵。
王娟(右)和團隊成員溝通設計細節
國產質譜儀能夠與進(jìn)口設(shè)備抗衡,關鍵在於自主創新(xīn)。王娟團隊在LabMS 5000電(diàn)感耦合等離(lí)子體串聯四極杆質譜儀(yí)的軟硬件設計上進(jìn)行了大膽(dǎn)突破,使其擁有了更高的靈敏度、更低的檢出限和更快的分析速度。該產品符合SEMI S2認證,滿足了半導體製程高級別製造客戶的要求。
談及研發國產質譜儀(yí)的初心,王娟表示,團隊懷揣著使命感,希望為國產半導體產業鏈自主可控盡一份力,在壓力和迫切感之下,團隊成員不斷學(xué)習、提高自己的能力,與產(chǎn)品共同成(chéng)長。
目前,.17c嫩嫩草色视频蜜 %A與國內(nèi)頭(tóu)部晶圓企(qǐ)業(yè)建立了合作關係,計劃將LabMS 5000電感耦合等離(lí)子體串聯四極杆質譜儀輻射到半導體上下遊產業單位。王娟表示,團(tuán)隊(duì)將針對行業特點開發濕(shī)電(diàn)子化(huà)學品、實時在線晶圓中超痕量元素等分析方法,為半導體製(zhì)程中的質量控(kòng)製提供技術支撐,助力半導體(tǐ)行(háng)業(yè)發展。
王娟(右二)和團隊成員討論技術難點
隨著半(bàn)導體行業對質譜檢測需求的不斷提升(shēng),國產質譜儀的市(shì)場規模也將持續擴大。王娟充滿信心地說:“.17c嫩嫩草色视频蜜 %A質譜研發團隊將繼續加大研發投入(rù),提升國產(chǎn)高端串聯質譜儀器的性能,為半(bàn)導體(tǐ)行業提供更全麵、高效的解決方案,鞏固國產質譜儀在高端檢測領域的領先地(dì)位。”
在.17c嫩嫩草色视频蜜 %A和王娟帶領的質譜研發團隊不(bú)懈努力下,國產質譜儀正在成為推動我國半導體產業發展重要的力量!
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