同位素質譜儀的（de）測量過程能夠歸納成如下幾個步驟。
1、對離子束每一組分（fèn）的強度進行記錄並測定。
2、離子（zǐ）束強度通過對計算機程序的應用轉化為同位素豐度。
3、比較（jiào）待測樣品與工作標準，使相對（duì）於標準的（de）同位素獲得。
4、通過氣體形式往離子源中送（sòng）入被分析的樣品。
5、將被分（fèn）析的元素轉（zhuǎn）化為電荷為e的陽離（lí）子，離子束應用縱電場準直成（chéng）為一定能量的平行離子束。
6、離子（zǐ）束通過電、磁分析器分解為不同m/e比值的組分。
同位素標準：
δ值的大小顯然與所采用的標（biāo）準有關，所以在作同位素分析時首先要選擇合適的標準，不同的樣品間的比較也必須采（cǎi）用同一標準（zhǔn）才有意義。對同位素標準物質的一般要求是（shì）：
1、組成均一性質穩（wěn）定；
2、數量較多，以便長期使用；
3、化學製備和同位素測量的手續簡便；
4、大致為天（tiān）然同位素（sù）比值變化範圍的中值，便用（yòng）於絕大多數樣品的測定（dìng）；
5、可以做為世界範圍（wéi）的零點。
1、保（bǎo）持極低的無機空白。
2、由於儀器精密，保證儀器不容易出故障。
實驗室基本結構
超淨實驗室一般包括（kuò）更衣（yī）室、風淋室（shì）、前處理間、天平間、儀器間和輔助設備間等。不同房間裝飾、潔淨度、換氣次數以及溫濕度要求不一定相同。
同位素質譜儀設計（jì）基本要求
（1）保證實（shí）驗室整體美觀，以人（rén）為本，設計合理（lǐ）。
（2）選用材料要（yào）求防酸、堿、耐有機溶劑。
（3）潔淨室符合潔淨實驗（yàn）室建設規範和相關條例，滿足用戶需求。
（4）防靜電，不積塵，堅固耐用便於使用維護。
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